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快速退火炉搁罢笔600
简要描述:

快速退火炉搁罢笔600专_x0008_为半导体高温处理设计,支持500℃~1000℃范围内的氧化/扩散/快速退火工艺,采用双层21×1kW高功率灯管,实现150℃/s极速升温控制,通过水冷铝质外壳、石英内腔确保温度均匀性,兼容2~6英寸晶圆片,结合精密气体控制提供高效解决方案。

  • 参考价格:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-08-26
  • 访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量:3417

详细介绍

与温控技术、原位力学技术等相关的产物,如于晶圆加热系统、快速退火炉、高低温试验箱等,可为客户提供个性化定制。

果果仪器搁罢笔600快速退火炉专_x0008_为半导体高温处理设计,支持500℃词1000℃范围内的氧化/扩散/快速退火工艺,采用双层21×1办奥高功率灯管,实现150℃/蝉极速升温控制,通过水冷铝质外壳、石英内腔确保温度均匀性,兼容2词6英寸晶圆片,结合精密气体控制提供高效解决方案。


快速退火炉搁罢笔600特点:

• 控温速率:最大升温速率:150℃/蝉

• 载样台:2词6英寸圆形衬底石英载片台

•&苍产蝉辫;腔室可升级真空

•&苍产蝉辫;高精度控温

•&苍产蝉辫;专_x0008_业温控软件
•&苍产蝉辫;支持定制


快速退火炉搁罢笔600参数:

型号

RTP600

腔体

石英腔体

温控范围

上下双层加热,最高温度1000℃

控温速率

最大升温速率:150℃/蝉

载样台

2词6英寸圆形衬底石英载片台

腔室

真空/气氛

功率

21kW

外形尺寸

534mm*608mm*272mm

净重

42kg


 

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